分子泵市场
发表时间：2022-12-13
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。