关于氦质谱检漏仪故障维护的干货知识
发表时间：2023-02-20
关于氦质谱检漏仪故障维护的干货知识
氦质谱检漏仪广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷行业等领域，具有检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点。
氦质谱检漏仪机械泵故障及处理。
1.机械泵不动。
检查项目包括：氦质谱泄漏检测器电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵冷却后是否可启动）。
2.机械泵声音异常。
检查油位是否合适，油质是否变质，油温是否变质。
氦质谱检漏仪分子泵故障及处理。
3.TMP在仪器界面上显示0，即分子泵不工作。
可能是前压（分子泵启动压力为200Pa）可能导致分子泵无法启动。检查压力过高的项目包括：真空管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否泄漏。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以用工具拨动叶片，以确定叶片是否可以旋转。
4.分子泵加速指示灯不亮。
电路板上的保险丝烧坏，更换保险丝或检查是否有短路。
5.分子泵故障灯亮。
检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，氦质谱泄漏检测器分子泵的电源可能出现故障。
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理。
1.灯丝不能正常启动。在确认机械泵。分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座和接线柱是否开路。如果开路，需要更换灯丝。如果不开路，检查接线柱是否与其他接头连接，以消除短路。
2.底部信号处于混乱的波动状态，尺寸远远超过氦质谱泄漏检测器故障本身的底部噪声，需要考虑放大器是否故障。一般用户无法解决质谱室的故障，只需定位故障并移交维修ZX。
氦质谱检漏仪检测开始时出现故障。
1.检漏键无效(绿色指示灯亮)
检查灯丝是否启动。若灯丝未启动或断开，按检漏键无反应。
2.检漏键无效(指示灯不亮)
I/O短接插头未插入氦质谱泄漏检测器故障后面的插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面的插座，氦质谱泄漏检测器将接受I/O口输入信号遥控信号，检漏键无效。
氦质谱检漏仪自动校准结束时的故障。
自动校准失败（灯丝亮）红色校准灯亮。首先，检查自动校准设置，开关S1是否处于OFF位置，设置的泄漏值是否与标准泄漏值一致。温度传感器是否连接；二是检查灵敏度，清洁质谱室（如果外部校准泄漏检查显示值与实际值一致，也可使用氦质谱泄漏检查仪）。
氦质谱检漏仪检漏故障。
1.检漏口压力不转换为细检方式。
2.灵敏度低。检查三极规测量的压力，等待质谱室压力。
3.氦的底部太高了。检查机械泵油是否失效（泵油长期变质会吸收更多氦，导致氦污染），检查仪器系统是否泄漏，真空管道是否污染，三极规压力是否达到10-6mpa，离子源是否污染。此外，还应注意环境污染问题。如果有多个氦质谱泄漏检测器，氦的使用量大，通风不良，导致氦扩散缓慢，也会导致氦污染。解决方案是在泄漏检测出口的排气阀出口（通常通过大气）安装一个容量为几升的气瓶，与低压氦管连接。这大大减少了环境氦污染。
4.工具设计不合理，导致泄漏检测失败。初步检查工作正常，工作几次后，抽样速度大大减慢，泄漏检测失败；加上氦质谱泄漏检测器不泄漏，工作正常。这是由于工具设计不合理造成的，如工具结构不合理、内表面粗糙、氦残留过多；或密封设计不合理（由于工具设计师不熟悉专业真空设计）。
5.操作不合理导致故障。例如，在工作中，有一个大泄漏工件，由于操作人员判断错误，不认为工件泄漏，并检查工具的连接或氦质谱泄漏检测器，多次检查工件泄漏。所以你会发现所有的工件都只是。原因是大泄漏工件经过多次泄漏检测，大量氦进入质谱室，造成质谱室污染。解决办法是清洁质谱室，反复吸气和排气。