氦质谱检漏仪的原理以及几种检漏方法
发表时间：2022-12-21
氨质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
氦质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。
氦质谱检漏仪原理：氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。
氦质谱检漏仪有以下几种检漏方法，每种方法都有自己的优点和不同的应用场景。
喷枪检漏法和吸枪检漏法是最常用的氦谱检漏仪检漏方法。
1.喷枪的真空检漏法
1)可以定位漏点。
2)高精度。
3)消耗较少的氦气。
精密仪器、压力容器等广泛采用真空检漏法。
典型应用：热管检漏氦质谱仪。
2.吸枪法
1)可以定位漏点。
2)无需抽真空。
采用吸枪法进行电厂检漏和航天火箭气控系统检漏。
典型的应用：换热器检漏。
3.累积真空测漏
1)高精度。
2)整体泄漏量的测量。
3)在线检测方便。
4)高重复。
典型应用：消防器材钢瓶氦质谱检漏仪检漏。
4.背压法
1)对密封装置进行指定检测。
2)高重复性。
典型应用：电子元件的氦质谱检漏仪。
5.真空累积法
1)自动检测容易。
2)极高的精度。
3)高重复性。
典型应用：H质谱检漏仪用于锂电池检漏系统。
6.枪的常压吸积法
1)在线检测方便。
2)无需抽真空。
氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。
