真空镀膜设备维护和保养
发表时间：2022-12-16
真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜设备维护和保养
1.真空镀膜设备每次完成200道以上的镀膜工序，应清洁工作间一次。
方法是：用饱和苛性钠溶液（NaOH）反复擦洗真空室壁（注意，人体皮肤不能直接接触苛性钠，以避免烧伤）。目的是使涂膜材料铝（AL）与NaOH反应，反应后膜层脱落并释放氢气。然后用清水清洁真空室，并用蘸有汽油的布清洁精抽阀中的污垢。
2.当粗抽泵（滑阀泵和旋片泵）连续工作一个月（雨季半个月）时，需要更换新油。
方法是：拧松开油螺栓，排出旧油，然后启动泵几秒钟，将泵内的旧油完全排出。拧回油螺栓，并添加新油至规定量（用机油观察镜观察）。连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦拭箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显慢或操作不当。充入大气，拆下连接水管，拆下电炉板，拧出一次喷嘴，用汽油清洗泵腔和泵胆，然后用洗衣粉清洗泵胆，再用水彻底清洗底部。水挥发后，装上泵胆，加入新的扩散泵油，装回机体，连接水管，装上电炉板，即可重新启动。重启前注意泄漏检测。
方法是：启动维护泵，关闭闸门，几分钟后观察扩散泵真空度是否达到6x10pa，或进行泄漏检测。检查密封橡胶圈是否安装在接头处或密封圈是否损坏。只有在消除潜在的空气泄漏后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏环，无法进入工作状态。