分子泵日常维护与维修
发表时间：2022-12-15
分子泵日常维护与维修
1更换润滑油
2.涡轮分子泵
新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油；
通常，经过初次换油后，正常运行的泵一年换油一次；
◆更换润滑油方法:
泵体上下轴承处，各有一个注油孔和个出油孔，将两个注油孔(位置偏上)和两个出油孔(位置偏下)螺打卸下，水平搁置泵，使注油孔朝上,用注射器将大约2x6m1的油分别主入两个油孔内，从另一侧流出的油不得再用，将4个M5油孔专用螺钉拧好，甩吸油纸吸净泵壳上残余的油，即完成润滑油更换。
注意：安装油孔爆钉时，螺钉上的黑色O形密封圈应拧紧、压实、避免漏气。
◆口径大于等于160的泵
新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油；
常规运行中，分子泵一年内运行时间少于4000小时的，一年更换一次；
一年内运行时间多于 4000小时的，每运行 4000小时必须换油一次。
注意：如果泵经常负载太大，观察润滑油漫浊或明显变色，则需立即更換润滑油。
◆更换润滑油的方法:
1）松开泵底部紧固由池的固定螺钉，取下油池, 倒出油池内的废油；
2）使用中性洗涤剂刷洗油池，注意要将杂质和污物清理干净，然后擦干(充分晾干，不能留有水珠) ;
3）重新注油方法与新泵注油方法相同。
注意：更换下来废弃的润滑油按当地法律法规处理。
脂润滑型分子泵终生不需要更换润滑脂，如果抽承出现问题只能返厂维修。
3、清洗泵
如果排除真空系统漏气或真空控体亏染严重等原因，在对泵长时间烘烤后仍不能恢复其真空性能，则断定泵已被污染，必须对泵进行清洗。
4、轴承更换
合格的分子泵出厂前都经过专门仪器的整机动平衡校验，更换轴承后需要重新校动平衡，
注意：更换下来的报废器件以及废弃清洗液按当地法律法规处理。
5、从真空系统上拆泵
当泵出现故障而必须从系统上将泵拆下来时，应确定泵处在停机状态，内外气压平衡，如果真抽除的是腐蚀性气体，确认真空腔，泵体内、前级管道内属性气体已被充分冲洗干净，泵内沉积物同样对人体有害，必要时，拆卸人员应戴防毒面具、戴手套。
泵卸下后，应尽快除去沉积物，以防上沉起物与潮湿空气反应生成挥发物或对泵有腐蚀的酸、碱等。泵卸下后，应立即用封闭的塑料袋包装起来。