射频电源工作原理
发表时间：2022-10-07
射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3kHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。
射频电源由5部分组成:主要包括一个直流供电电源模块,震荡电路模块,功率放大模块,射频功率检测模块,射频互锁控制模块等部分组成
(1) 直流电源模块是为电源内部控制线路板供电,包括 24V,15V 等电压。
(2)震荡电路模块为晶体震荡部分，产生 13.56MHZ 的正弦波信号。
(3) 功率放大模块是几个固态晶体管组成,主要目的是把高频信号,进行功率放大,使得输出功
率达到输出要求。
(4) 射频功率检测模块:主要为检测控制电路,通过高频测量电感检测入射功率反射功率,把该信号提供给主控制板,实现自动 PID 控制。
(5) 射频互锁控制模块:主要为开关信号模式,可提供安全互锁功能比如射频输出线互锁,高压互锁,射频输出互锁,过温互锁等控制功能。
射频电源产生等离子体的原理:在一个密闭的真空压力容器内.,利用真空泵获得一定的真空度,射频被馈入到真空室内的两个极板之间,在两个极板之间产生一个交变电场,气体在电场下被电离,产生相对应的离子,带电离子被加速不断碰撞气体分子,产生级联效应,这样就产生了辉光,从而产生等离子体。
射频电路工作原理
射频电源工作原理
射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。有线电视系统就是采用射频传输方式。
在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体周围会形成交变的电磁场，称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100khz时，电磁波可以在空气中传播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频，射频技术在无线通信领域中被广泛使用。
射频芯片指的就是将无线电信号通信转换成一定的无线电信号波形， 并通过天线谐振发送出去的一个电子元器件，它包括功率放大器、低噪声放大器和天线开关。射频芯片架构包括接收通道和发射通道两大部分。