分子泵故障处理
发表时间：2021-09-16
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。
由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，致使返流增加，抽气能力下降。
分子泵故障处理
1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？
原因：附近有光照或其他热源
解决方法：避免光照或热源
2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？
原因：冷却不良，负载太大
解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？
原因：负载太大，系统真空度不够
解决方法：检查系统
4、分子泵轴承为什么会烧毁
原因：缺乏定期维护冷却不良导致过热没有及时换油抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法：及时维护检查冷却系及时换油隔离粉尘
5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？
原因：防护网破裂，前级管道破裂
解决方法：优化系统设计
6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？
原因：油池破裂或密封不良
解决方法：检查油池
7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因：过热，负载大
解决措施：检查冷却系，检查系统
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？
原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？
答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？
答：电压不稳强干扰高压打火人为解密
11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？
答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境
12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？
答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳方式？
答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”。
答：原因：电压低
15、分子泵叶片破碎的原因：
答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：
*误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。
*是异物掉入;没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。
*电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
*前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
*分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。
*轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。